中經(jīng)聯(lián)播訊 在精密制造的世界里，精度是不可動搖的信仰。當(dāng)透射電子顯微鏡（TEM）能夠捕捉原子級的微觀影像時(shí)，其調(diào)試誤差需控制在納米尺度；而電子束光刻系統(tǒng)雕刻芯片電路時(shí)，微米級的精度偏差就可能導(dǎo)致整個(gè)晶圓報(bào)廢。陳澤威，這位深耕光學(xué)設(shè)施與光刻設(shè)備維護(hù)領(lǐng)域的青年技術(shù)專家，用從原子到光刻的精度追求，詮釋著精密制造背后最純粹的技術(shù)信仰。
蘭州大學(xué)材料物理本科的學(xué)習(xí)，讓陳澤威建立起“從原子級視角看問題”的思維，理解到精密制造的精度控制本質(zhì)是對物質(zhì)本質(zhì)規(guī)律的遵循；南加州大學(xué)機(jī)械工程碩士階段的研究，則讓他掌握了將微觀認(rèn)知轉(zhuǎn)化為設(shè)備運(yùn)行誤差量化控制的能力，為后續(xù)在精密設(shè)備領(lǐng)域的深耕筑牢了基礎(chǔ)。
2018年加盟賽默飛世爾上海公司時(shí)，陳澤威接手的是透射電子顯微鏡（TEM）的維護(hù)工作——這種能“直視原子”的尖端設(shè)備，對維護(hù)精度的要求苛刻到需以原子直徑為單位（約0.1納米）。在一次次調(diào)試電子槍聚焦精度、校準(zhǔn)物鏡像差的過程中，他逐漸領(lǐng)悟：“精度控制從來不是某一個(gè)部件的單點(diǎn)優(yōu)化，而是真空系統(tǒng)、電子光學(xué)系統(tǒng)、機(jī)械傳動系統(tǒng)等全鏈條的協(xié)同平衡?！边@種系統(tǒng)思維，成為他日后處理復(fù)雜技術(shù)問題的核心準(zhǔn)則。
2023年轉(zhuǎn)入北京銳時(shí)科技后，他的工作重心轉(zhuǎn)向電子束光刻系統(tǒng)維護(hù)。如果說TEM的精度追求是“看清原子”，那么電子束光刻則需要“雕刻原子級圖案”——將設(shè)計(jì)好的電路圖案以納米級精度轉(zhuǎn)移到晶圓上，任何微小偏差都可能導(dǎo)致整片芯片報(bào)廢。這段經(jīng)歷讓他完成了從“觀測精度”到“制造精度”的關(guān)鍵跨越，也讓他的研究理論更貼近產(chǎn)業(yè)實(shí)際：“真正的精度控制，既要能在實(shí)驗(yàn)室實(shí)現(xiàn)極限參數(shù)，更要在量產(chǎn)場景中保持穩(wěn)定可靠?！?/p>
“再熟練的工程師，也會有0.1%的人為誤差，但在精密制造領(lǐng)域，這0.1%往往就會導(dǎo)致100%的失敗?！被谶@兩段工作中對精度的極致探索，啟發(fā)了陳澤威著手研發(fā)“高級電子束曝光機(jī)維護(hù)與診斷系統(tǒng)V1.0”，試圖用數(shù)字化手段將積累的精度控制經(jīng)驗(yàn)轉(zhuǎn)化為可復(fù)制的系統(tǒng)方案?！案呒夒娮邮毓鈾C(jī)維護(hù)與診斷系統(tǒng)V1.0”通過預(yù)設(shè)300+故障模式識別算法，將傳統(tǒng)依賴經(jīng)驗(yàn)的“手感調(diào)試”轉(zhuǎn)化為可量化的參數(shù)優(yōu)化，使維護(hù)精度的一致性提升35%。這一系統(tǒng)的出現(xiàn)，改變了行業(yè)內(nèi)傳統(tǒng)維護(hù)方式效率低、精度不穩(wěn)定的局面，推動了光學(xué)設(shè)施設(shè)備維護(hù)向智能化、精準(zhǔn)化方向發(fā)展。
而他的另一成果：《電子束曝光技術(shù)：原理、操作與維護(hù)》，則是陳澤威精度控制方法論的系統(tǒng)輸出。書中通過分析300多臺設(shè)備的運(yùn)行數(shù)據(jù)，揭示了電子光學(xué)系統(tǒng)性能隨時(shí)間變化的規(guī)律，為行業(yè)提供了可復(fù)用的預(yù)防性維護(hù)框架?！凹夹g(shù)不應(yīng)該是秘而不宣的經(jīng)驗(yàn)，而要成為可傳承的標(biāo)準(zhǔn)。”這種開放共享的態(tài)度，讓他的精度信仰從個(gè)人追求升華為行業(yè)共識，為行業(yè)培養(yǎng)專業(yè)人才、規(guī)范操作流程提供了重要的知識支撐，促進(jìn)了整個(gè)行業(yè)技術(shù)水平的提升。
從TEM的材料微觀分析，到電子束光刻的芯片圖案制造，陳澤威的職業(yè)軌跡恰好構(gòu)成精密制造的完整閉環(huán)。在半導(dǎo)體設(shè)備自主化的浪潮中，他的價(jià)值不僅在于解決了多少技術(shù)難題，更在于建立了一套可復(fù)制的精度控制體系——為“中國制造”向“中國精造”轉(zhuǎn)型提供了關(guān)鍵支撐。他的技術(shù)創(chuàng)新和經(jīng)驗(yàn)分享，帶動了整個(gè)光電設(shè)施設(shè)備行業(yè)技術(shù)的提升，增強(qiáng)了我國在該領(lǐng)域的自主研發(fā)能力和國際競爭力，為行業(yè)的持續(xù)健康發(fā)展注入了強(qiáng)大動力。
當(dāng)被問及為何執(zhí)著于精度時(shí)，陳澤威的回答樸素而堅(jiān)定：“在原子世界里，誤差是不存在的，它們永遠(yuǎn)遵循物理規(guī)律。人類的技術(shù)進(jìn)步，就是無限逼近這種自然精度的過程?！边@位從原子到光刻的精度守護(hù)者，正用他的技術(shù)信仰，為中國精密制造丈量著向極致進(jìn)發(fā)的每一步。（文/關(guān)以滬）
